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        氣體系統建造基礎常識

        2018/03/08 13:30:02 發布廠商:南京科航實驗儀器有限公司 >> 進入該公司展臺 已瀏覽:

        一、詞匯:

        TUBE & PIPE( 管件);

        習慣上3/4”以下的管稱為TUBE, 15A以上稱為PIPE.(參閱管件尺寸)

        其選取參數分為管徑、材料、表面處理程度.

        氣體系統材料分為SUS 304/SUS 304L及SUS 316/SUS 316L,其差異在于SUS 316增加鉬(Mo)金屬,改善其機械性質, L則表示材料降低含碳(C)量,增加含鎳(Ni)量.

        ? ??管道表面處理等級常用可分兩種, BA (Bright Anneal)是經過表面研磨處理其Rmax≦4.5μm,EP (Electro Polish)除了表面研磨外,再加以電解研磨其Rmax≦0.7μm.

        管材(含FITTING)又因母材原始制程不同而區分為VOD (vacuum

        oxygen decarburization ) ,即真空氧氣除碳,為制造母材之程序。

        VIM(vacuum induction melting)+VAR(vacuum arc remelting)制造母

        材程序,雙重真空溶解超清凈鋼。

        二者皆為母材制造程序,VIM+VAR較VOD clean,purity。

        二、FITTINGS( 配件);

        3.VALVE( 閥件);

        VALVE 一般分為 BALL- - VALVE( 球塞閥 )/BELLOWS- - VALVE

        ( ( 波紋閥 ) & DIAPHRAGM- - VALVE( 膜片閥, ), 另外又因作動方

        式區分為 MANUAL ?VALVE(手閥) & AIR?VALVE(氣閥);

        A. BELLOWS VALVE :?MAX,WORKING PRESSURE (10kgf/cm 2 2 G)

        1. 使用耐久性佳,可多次開/ / 關不易損壞。

        2. 閥件尺寸多樣。

        3. 閥件內易產生 PARTICAL 。

        B. DIAPHRAGM VALVE :??MAX,WORKING PRESSURE (10kgf/cm 2 G)

        1. 使用耐久性較差,在多次開/ / 關后 DIAPHRAGM 易疲疺。

        2. 目前閥件尺寸為 3/4” 。

        3. 使用流量較小。

        4. 沒有 OIL 和 PARTICAL 產生,適合高純度管路使用。

        供應膜閥主要廠商(氣動/手動):

        Swagelok、Parker、APTech、Rotarex、Ham-let、Fujikin、Kitz、TK。

        手動閥又分直手柄和圓手柄

        90°和3/4開度,高壓和低壓,接口(VCR和焊接)及尺寸大小、Cv值大小,閥座材質(PCTFE/Vespel)、閥體材質(SS316L/哈氏合金)、Ra值(10μ、7μ和5μ)

        工作溫度(一般60

        氣動閥分NO,NC型;

        C. BALL VALVE : ?MAX,WORKING PRESSURE (50kgf/cm2)

        內部含密封用油脂,使用時會外泄,不適合高純度管路使用。

        4.REGULATOR( 調壓閥);

        REGULATOR用途為調整出口端壓力值,一般分為高壓與低壓,

        HPG量程:0~3000psi(204kg.cm-2)

        LPG量程:-30~160psi

        流量型式有高流量型,表頭有單表頭雙表頭,材質粗糙度分BA、EP兩種等級,一般均為EP。


        7.Burst disc & Rupture disc( 爆破片) ;

        通常壓力容器的一道保護屏障,即爆破片,其設定壓力比安全閥稍高,若破裂后需要更換同等級產品。

        6.FILTER( 過濾器)、純化器

        ?6.1?FILTER功能主要是去除氣體中Particle,與Purifier純化氣體功能不一樣,選取時注意參數操作壓力、接頭形式、材質、過濾等級及流量大小,壓力等級分為高壓和低壓;接頭分為VCR、SWG、WELD等型式

        ;材質主要有SUS、NI、PTFE;過濾等級0.01、0.03、0.003um等;流量有一般流量和大流量區別。

        1)過濾顆粒

        2)常用精度:0.003μm

        3)腐蝕性氣體– Ni基金屬過濾膜;其他

        ? ? ? - PTFE過濾膜

        4) CO和O3不能使用Ni基金屬過濾膜

        7.VACUUM GENERATOR( 真空產生器);

        VG:Vacuum generator(真空發生器)主要用于VMB或者G/C上作為Vent抽氣使用,使用場合較少,真空度:-13psig;

        8.加熱毯/帶

        1)47L鋼瓶、Y型鋼瓶和T-Tank

        2)PID控制,可防止鋼瓶“出汗”,影響系統流量(鋼瓶

        出汗會損壞稱)。

        3)設定溫度:35~45

        4)綁在鋼瓶底部。并需將保護網移去,保證加熱效果。

        面板/管道加熱帶:

        1)PID控制,防止調壓閥發生J-T效應(出汗)

        2)設定溫度:35~45

        9. 其它.;

        其它附件諸如鋼瓶接頭、壓力表(PG/PGS)、壓力傳感器PT、流量開關(EFS)、RFO(限流環/孔)、Pigtail(鋼瓶出口接口及管道<俗稱豬尾巴>?)

        現場的實際pigtail比這個螺旋數目要多,本圖只是示意圖,主要是為了增加更換鋼瓶時靈活性,保證接口對齊不滲漏。

        EFS:過流量保護開關,用于下游氣體流量異常時動作,迅速關閉輸送管路,確保安全。

        針對一些易燃氣體,易爆氣體或因為其他原因而設置。

        工作原理:當氣柜里面有火焰時氣柜內部會有個超聲波檢測模塊(UV-TRON)當探測到一個特殊的頻段時,會產生報警信號。可探測紅外和紫外波長;一般選用開關量輸出;平時需定期清理探頭前的保護玻璃,以免灰塵影響精度;定期測試,確保正常工作。

        B.High Temp Sensor(高溫傳感器HT)

        ? ? 為了防止氣柜內部溫度過高而導致危險

        工作原理:這是一個雙金屬開關,它由兩個受熱膨脹綠不同的金屬片組成,從而控制電信號開關.

        規格:工作溫度是63℃,超過63便產生報警信號;

        設定點不可調(63℃),開關量輸出(NC/NO),一直高溫會損壞;

        C.Auto Guard(鋼瓶接口處的安全裝置)

        ? ? ?為了保證換鋼瓶的安全.為了防止在沒有進行換瓶前吹掃便把鋼瓶卸下從而導致毒氣泄漏.

        工作原理:這是一個氣動裝置.裝置內部有一個控制開關的電磁閥.這個裝置保證了鋼瓶接口處的安全,操作者無法輕易卸下鋼瓶接口,除非是在安全流程下才會打開此裝置,允許操作者卸下接口。

        D.Sprinkler(噴淋裝置)


        ?當氣柜內部由于火焰或其他原因導致內部溫度超過72℃時噴淋啟動;采用煤油液泡,臘封設置點不可調(69),噴淋水壓力:3~4bar,主要用于降溫,而非滅火。

        工作原理:當氣柜內部溫度上升到一定極限(72℃)時消防水便會被開啟

        E.Seismic Detector(防震探測器)

        部分半導體大廠有配備,不常用,探測器與氣柜進行連鎖,發生時關閉相應閥門,以確保安全。

        F.Gas Leak Detector(毒氣偵測器)?

        偵測環境中毒氣含量的裝置,特氣房、使用點、氣柜等具有泄露風險的位置進行布置,根據所設定值來產生報警;

        工作原理:常用的是電化學式的偵測器,通過采樣管從氣柜風管里抽取少量氣體從如偵測器分析毒氣含量,之后排出大氣.(采樣管必須接在排氣管的下面)

        安裝:可以采集氣柜內部的氣體進行分析,也可以采集環境中的氣體進行分析。可任意方向安裝;不同氣體采用不同探頭,探測器分防爆和非防爆兩種。

        部分氣體報警設定值參考如下:

        SIH4一段2.5ppm;?二段為5ppm;

        NH3一段為12.5ppm;?二段為25ppm;

        HCL一段為1ppm;?二段為2ppm;

        O2一段為19.5ppm;? 二段為18.5ppm;

        氣柜元件常用英文縮寫:




        【責任編輯:kehangyiqi】
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